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东莞市天测光学设备有限公司苏州分公司

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特征:X,Y,Z 行程 (毫米):250 x 150 x 50X,Y,Z光栅尺分辨率:XY - 0.05μm,零膨胀材料,Z - 0.01μm,零膨胀材料平台驱动系统:
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