全新的Precis® 200是基于Micro-Metric的Innova晶圆量测系统开发而来，采用了VMM 公司最先进的设计和技术。
, 新款Precis 包含了很多可配置选项，使设备更加通用，耐用以及可靠。
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扩展了Z轴范围 – 2.5mm, 5mm or 100mm
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透射照明
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完整电子绘图 – 完全符合 SEMI S2 和 CE 标准
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符合人体工程学的操作员控制台 ，带有隐藏键盘托盘, 可调节高度和角度的控制面板和显示器, SEMI S8 符合
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全自动显微镜，所有设置计算机控制
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最佳分辨率像素摄像头
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VIEW Metrology Software (VMS™) 可测组件很广泛, 可选CAD导入 以及完整的几何尺寸和公差导入。
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MMWin – 晶圆片 和Mask计量软件 –晶圆片的重要尺寸和迭置重合测量, 滑块 ABS,光掩模和平板显示器.
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标准 可选
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X,Y,Z行程(mm): 200 x 200 x 5 200 x 200 x 100
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最大载重: 12 kg
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XY精度: E1=(0.25+2L/1000)um
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Z 精度: E1=(0.25)um (with use of a 100X lens)
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分辨率： 0.01 微米
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视场测量精度和重复性：0.01 μm (100x)
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直流伺服马达驱动
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